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デジタル大辞泉

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ウエット‐エッチング【wet etching】

読み方：うえっとえっちんぐ

半導体集積回路などの微細回路を作製する際、溶液中に回路基板を浸し、不必要な部分を腐食・分解して取り去ること。湿式エッチング。→エッチング3

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