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ESD　environmental secondary electron detector

環境制御形SEMで使われている二次電子検出器。数百Vに保たれた捕集電極が検出器として用いられるが、試料から放出された二次電子が、捕集電極で加速されるときに周囲のガス分子に衝突して起きる、ガス増幅を利用している。

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