集束レンズ
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集束レンズ(しゅうそくレンズ)とは、光や電子のビームを集束するレンズのこと。コンデンサー(Condenser )ともいう。
電子顕微鏡で用いられる集束レンズは電磁レンズであり、電子銃と対物レンズの間に置かれる。電子プローブ径とプローブ電流を制御する。
一般的に、電子銃が熱電子放出型やショットキー型の場合は2段、電界放出型の場合は1段の集束レンズが使われる。
外部リンク
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