メチルビス（ジメチルアミノ）シランとは？ わかりやすく解説

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メチルビス(ジメチルアミノ)シラン

分子式：C5H16N2Si
その他の名称：N,N,N',N',α-Pentamethylsilanediamine
体系名：メチルビス(ジメチルアミノ)シラン、ビス(ジメチルアミノ)(メチル)シラン、N,N,N',N',α-ペンタメチルシランジアミン

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