ジメチルアミノトリフルオロシランとは？わかりやすく解説

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ジメチルアミノトリフルオロシラン

分子式：	C₂H₆F₃NSi
その他の名称：	(Dimethylamino)trifluorosilane、α,α,α-Trifluoro-N,N-dimethylsilanamine、Dimethyl(trifluorosilyl)amine、Dimethylaminotrifluorosilane
体系名：	ジメチル(トリフルオロシリル)アミン、α,α,α-トリフルオロ-N,N-ジメチルシランアミン、(ジメチルアミノ)トリフルオロシラン、ジメチルアミノトリフルオロシラン

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