研磨用語集

研磨能率

けんまのうりつ

単位時間あたりの研磨量とするならば、除去された厚さ（深さ）μm/minなどで表す。体積や重量により表記することもある。研磨圧力、研磨速度、このほか砥粒の種類や濃度、研磨液の種類なども影響するので、研磨圧力、研磨速度を取り入れたμm/kg ・Pa(比研磨量・圧力比）で表すこともできる。これは研磨量が研磨速度、研磨圧力、研磨時間に比例するとしたときの比例定数である。