研磨用語集

研磨熱

けんまねつ

研磨における工具と工作物の作用で発生した熱を指し、ミクロな領域の加工部はかなりの高温になると言われている。研磨熱によって工作物表面の塑性流動的挙動が促進され、また、化学作用も活発になり、表面の平滑化が進む。超仕上げ、バフ仕上げ、シリコンウエハのメカノケミカルポリシングさらにはダイヤモンド原石の研磨になると研磨熱が発生しないと加工量が得られず、鏡面を得にくい。