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走査電子顕微鏡基本用語集
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本引き（主排気）　fine pumping,main pumping

大気圧から高真空まで、順次真空を上げていく排気システムにおいて、主排気ポンプを使って行う高真空用での排気操作。主排気とも言う。

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本引き

【英】：main pumping

粗引きポンプから高真空ポンプに切り替えて排気すること。主排気ともいう。

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