帯電除去
出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2017/10/02 05:58 UTC 版)
コロナ放電を利用して帯電除去を行う装置で、半導体製造のクリーンルーム等に用いられる。コロナ放電で発生させた正負の大気イオンにより帯電表面を静電気的に中和することにより、除電装置として機能する。
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