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走査電子顕微鏡基本用語集

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ペニング真空計（ペニングゲージ）　Penning gauge

真空中での放電現象を利用した電離真空計。永久磁石による強磁界中での放電現象（ペニング放電）を利用しているため、ある程度の高真空でも使うことが可能である。測定可能圧力範囲は10^-3〜1Paである。

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