三省堂 大辞林

しんくう-じょうちゃく 5 【真空蒸着】

真空中で金属や化合物などを加熱蒸発させ、その蒸気を物体表面に薄膜状につけること。レンズのコーティング、電子部品や半導体、集積回路、光学部品の反射膜など数ナノメートルから数マイクロメートルの膜の形成に利用する。