研磨用語集

LTV

える・てぃー・ぶぃー

local thickness variation の略語で、電子デバイス用ウェハの平坦度の評価項目の１つ。あるチップサイズ領域において、ウェハ裏面などの基準面から厚み方向に測定した最高高さと最低高さの差で、ウェハごとにチップ数だけLTVの値がある。