「二次電子検出器」を解説文に含む見出し語の検索結果(31~40/67件中)
二次電子あるいは反射電子を検出するために検出器先端に取り付けられた発光体で、電子を光に変換する機能を持つ。YAG結晶のようにそれ自身が発光するものやガラス基板に発光物質を塗布したものがある二次電子を検...
【英】:scintillator (fluorescent substance)電子線、電磁波などのエネルギーを吸収して蛍光を発する物質。背後に置かれる光電変換器の感度特性に合わせて蛍光の色、残光の長...
集束イオンビームを利用して試料を加工したり、観察する装置。ガリウムを使った液体金属イオン源から放出されたイオンビームをレンズ系で縮小し、集束イオンビームを作製する。基本的な構造はSEMと似ているが、イ...
集束イオンビームを利用して試料を加工したり、観察する装置。ガリウムを使った液体金属イオン源から放出されたイオンビームをレンズ系で縮小し、集束イオンビームを作製する。基本的な構造はSEMと似ているが、イ...
集束イオンビームを利用して試料を加工したり、観察する装置。ガリウムを使った液体金属イオン源から放出されたイオンビームをレンズ系で縮小し、集束イオンビームを作製する。基本的な構造はSEMと似ているが、イ...
【英】:secondary electron入射電子が試料内で衝突を繰り返しながらエネルギーを失い(非弾性散乱)、その過程で試料を構成している原子の外殻電子が弾き飛ばされ、この電子の一部が試料物質の束...
【英】:secondary electron入射電子が試料内で衝突を繰り返しながらエネルギーを失い(非弾性散乱)、その過程で試料を構成している原子の外殻電子が弾き飛ばされ、この電子の一部が試料物質の束...
入射電子の非弾性散乱によって、固体内の電子が励起され、真空中に放出されたもの。そのエネルギーは一般に50eV以下として定義される。エネルギーが小さいため、試料内部で発生したものは試料中で吸収され、表面...
試料室の圧力を数十〜数百Paまで上げられるようにしたSEM。残留ガス分子と電子の衝突によって出来るプラスイオンを利用して帯電を中和し、非導電性試料を無コーティング観察することができる。このほか、ガス放...
試料室の圧力を数十〜数百Paまで上げられるようにしたSEM。残留ガス分子と電子の衝突によって出来るプラスイオンを利用して帯電を中和し、非導電性試料を無コーティング観察することができる。このほか、ガス放...