「ターボ分子ポンプ」を解説文に含む見出し語の検索結果(1~10/100件中)
【英】:dry-pumping system油や水を使用しない真空排気系のこと。スクロールポンプ、スパッタイオンポンプ、ターボ分子ポンプがある。関連する用語スクロールポンプスパッタイオンポンプターボ分...
【英】:dry-pumping system油や水を使用しない真空排気系のこと。スクロールポンプ、スパッタイオンポンプ、ターボ分子ポンプがある。関連する用語スクロールポンプスパッタイオンポンプターボ分...
電子光学系、試料室などを真空排気するためのポンプ。低真空用としては油回転ポンプ、高真空用としては油拡散ポンプやターボ分子ポンプ、超高真空用としてはスパッタイオンポンプなどが用いられる。関連する用語電子...
電子光学系、試料室などを真空排気するためのポンプ。低真空用としては油回転ポンプ、高真空用としては油拡散ポンプやターボ分子ポンプ、超高真空用としてはスパッタイオンポンプなどが用いられる。関連する用語電子...
真空蒸着を行うための装置。真空隔壁としては内部が見えるようにガラス製のベルジャーが使われ、内部には蒸着源を支えるための電極棒、試料表面をカバーするシャッタなどが置かれている。排気系としては油拡散ポンプ...
真空蒸着を行うための装置。真空隔壁としては内部が見えるようにガラス製のベルジャーが使われ、内部には蒸着源を支えるための電極棒、試料表面をカバーするシャッタなどが置かれている。排気系としては油拡散ポンプ...
【英】:(oil) rotary pump油で気密状態を保った状態でロータがケース内で回転することによって吸気口からガス分子を吸入し、圧縮してその圧力で排出口にある弁を開けて、ガスを大気に放出するポン...
【英】:(oil) rotary pump油で気密状態を保った状態でロータがケース内で回転することによって吸気口からガス分子を吸入し、圧縮してその圧力で排出口にある弁を開けて、ガスを大気に放出するポン...
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