引き出し式の試料ステージ。普及形SEMでは、価格の点から試料交換室を持たず、試料室を大気圧にして試料ステージを引き出し、試料交換を行うものが多い。試料交換に時間が掛かるが、大きな試料を扱えるという利点...

引き出し式の試料ステージ。普及形SEMでは、価格の点から試料交換室を持たず、試料室を大気圧にして試料ステージを引き出し、試料交換を行うものが多い。試料交換に時間が掛かるが、大きな試料を扱えるという利点...

二つの部屋の真空隔壁として用いられる真空弁。電子光学系と試料室、電子銃室とレンズ系、試料室と試料交換室のように、一方を真空に保ったままもう一方を大気圧にする必要がある場合に、用いられる。手動で開閉する...

二つの部屋の真空隔壁として用いられる真空弁。電子光学系と試料室、電子銃室とレンズ系、試料室と試料交換室のように、一方を真空に保ったままもう一方を大気圧にする必要がある場合に、用いられる。手動で開閉する...

二つの部屋の真空隔壁として用いられる真空弁。電子光学系と試料室、電子銃室とレンズ系、試料室と試料交換室のように、一方を真空に保ったままもう一方を大気圧にする必要がある場合に、用いられる。手動で開閉する...

二つの部屋の真空隔壁として用いられる真空弁。電子光学系と試料室、電子銃室とレンズ系、試料室と試料交換室のように、一方を真空に保ったままもう一方を大気圧にする必要がある場合に、用いられる。手動で開閉する...

二つの部屋の真空隔壁として用いられる真空弁。電子光学系と試料室、電子銃室とレンズ系、試料室と試料交換室のように、一方を真空に保ったままもう一方を大気圧にする必要がある場合に、用いられる。手動で開閉する...

二つの部屋の真空隔壁として用いられる真空弁。電子光学系と試料室、電子銃室とレンズ系、試料室と試料交換室のように、一方を真空に保ったままもう一方を大気圧にする必要がある場合に、用いられる。手動で開閉する...

試料交換をするとき、試料室を大気圧にすることなく試料を出し入れするために設けられて空間。試料室側、大気圧側に仕切り弁があり、試料交換室は予備排気できるようになっている。関連する用語仕切り弁予備排気ドロ...

試料交換をするとき、試料室を大気圧にすることなく試料を出し入れするために設けられて空間。試料室側、大気圧側に仕切り弁があり、試料交換室は予備排気できるようになっている。関連する用語仕切り弁予備排気ドロ...