「反応性スパッタ法」を解説文に含む見出し語の検索結果(1~6/6件中)
出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2020/07/26 17:00 UTC 版)「反応性スパッタ法」の記事における「成膜技術」の解説スパッタリングの手法の一つ。薄膜をス...
ナビゲーションに移動検索に移動反応性スパッタ法成膜技術スパッタリングの手法の一つ。薄膜をスパッタする際に酸素や窒素などのガスを、チャンバー内に流すことでターゲット構成物質に含まれる成分とガスとの生成物...
出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2022/05/12 01:27 UTC 版)「スパッタリング」の記事における「金属・金属酸化物・金属窒化物成膜技術」の解説スパッタリ...
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