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「サーフェイスマイクロマシニング」を解説文に含む見出し語の検索結果(1～5/5件中)

バルクマイクロマシニング - 百科事典

バルクマイクロマシニングとは、MEMS(マイクロマシン)作製技術の一つ。基板もしくは厚膜(数十μm以上)を加工してMEMSデバイスを作製する技術の総称。(参考:サーフェイスマイクロマシニング)主にS...

Bulk micromachining - 百科事典

バルクマイクロマシニングとは、MEMS(マイクロマシン)作製技術の一つ。基板もしくは厚膜(数十μm以上)を加工してMEMSデバイスを作製する技術の総称。(参考:サーフェイスマイクロマシニング)主にS...

サーフェイスマイクロマシニング - 百科事典

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MEMS - 百科事典

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マイクロマシニング - 百科事典

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