超高分解能FESEMとは？わかりやすく解説

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走査電子顕微鏡基本用語集

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超高分解能FESEM（超高分解能SEM）　ultra-high resolution FESEM,ultra-high resolution SEM

FE電子銃とインレンズ形対物レンズあるいはシュノーケル形対物レンズのような低収差の対物レンズを組み合わせた SEM。1nm以上の分解能が得られる。

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