サーフェイスマイクロマシニング
出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2023/04/23 17:00 UTC 版)
サーフェイスマイクロマシニングは、MEMS(マイクロマシン)作製技術の一つ。 薄膜(数μm程度)を加工してMEMSデバイスを作製する技術の総称。
- 1 サーフェイスマイクロマシニングとは
- 2 サーフェイスマイクロマシニングの概要
- 3 関連項目
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