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LADI

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2017/09/17 19:52 UTC 版)

LADI(英: Laser-Assisted Direct Imprinting: LADI) はナノメートルオーダーの微細構造作成技術として期待されるナノ構造構築法の一手法。

^ ^a ^b Chou, Stephen Y., Chris Keimel., Jian Gu. "Ultrafast and direct imprint of nanostructures in silicon." Nature 417.6891 (2002): 835-837.
^ ^a ^b ^c ^d ^e ^f “ナノスケールの“刻印”や“印刷”でナノデバイスの量産性を競う ─ 2002年8月の注目論文”. 2016年10月7日閲覧。

[続きの解説]

「LADI」の続きの解説一覧

1 LADIとは
2 LADIの概要

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LADI

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2017/12/22 02:13 UTC 版)

「次世代リソグラフィ」の記事における「LADI」の解説

詳細は「LADI」を参照 LADI:Laser-Assisted Direct Imprintingはレーザー光を使用して転写する。他の方式とは異なり、ステッパーのような高額の装置が不要。

※この「LADI」の解説は、「次世代リソグラフィ」の解説の一部です。
「LADI」を含む「次世代リソグラフィ」の記事については、「次世代リソグラフィ」の概要を参照ください。

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