三次元計測SEMとは？わかりやすく解説

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三次元計測SEM　3D-SEM: three dimensional SEM

SEMは凹凸のある試料を観察することが多いが、焦点深度が深いため一枚のSEM像から高さを知ることは、不可能といって良い。これに対して、複数の検出器を置き、その出力を演算することで高さを測定できる SEMがある。これを3次元計測 SEM と言い、試料表面の3次元的な表示をしたり、表面の粗さを統計的に求める機能を備えている。

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