自己整合
出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2016/11/21 09:24 UTC 版)
自己整合（じこせいごう、英: Self-alignment）とは、例えば半導体等の集積回路作製プロセスにおいて、既に形成されたパターンを次のプロセスのマスクとして利用し、マスクの位置合わせ無しで次のプロセスを進めることである[1]。 また、最初のパターンあるいは形状が最終的な素子のパターンあるいは形状を決定する場合も自己整合と呼ぶ。 自己組織化 (Self-assembly) とは異なる。
- ^ 井上聡; 下田達也 (2007). “フラットパネルディスプレイの製造技術 マイクロ液体プロセスを用いた電子デバイス”. 精密工学会誌 69 (7): 935-938.
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