研磨用語集

(湿式)メカノケミカルポリシング

しっしきめかのけみかるぽりしんぐ

SEMI規格用語のケム・メカニカルポリシングに該当する。シリコンウエハの鏡面仕上げで注目された研磨法であり、コロイダルシリカ研磨剤と軟質発泡ポリウレタンが用いられる。工作物の表面に加えられた機械的作用と研磨剤の化学的作用により、軟質な工作物の水和膜を発生させ、それを削り落として無擾乱鏡面を得る研磨法である。