ゲッターポンプ

デジタル大辞泉

ゲッター‐ポンプ【getter pump】

読み方：げったーぽんぷ

真空装置中から不活性な気体を取り除くために、ゲッターとしてはたらく金属で気体をイオン化して吸着・排除するポンプ。

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ゲッターポンプ

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2024/05/06 07:17 UTC 版)

ゲッターポンプ (Getter Pump) は、チタンのゲッター作用により排気する真空ポンプである。サブリメーションポンプ (Sublimation Pump) とも呼ばれる。これらは蒸発型のゲッターポンプであり、ジルコニウム等の活性な金属とガスの化学反応を利用した非蒸発型ゲッターポンプ（Non-Evaporable-Getterの頭文字を取って NEGポンプとも呼ばれる）も存在する。非蒸発型ゲッターポンプは真空中で高温に熱する活性化という工程が必要となるが、チタン蒸発時の飛散を避けたい用途では非蒸発型ゲッターポンプが有効である。