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研磨用語集
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OSF

おー・えす・えふ

①シリコンウェハの表面や内部に生じる結晶欠陥の１つで、酸化により誘起される積層欠陥。ウェハ表面のOSFは表面近傍の残留歪みや汚染なと、内部のOSFは過飽和含有酸素の析出物に起因する。　②ウェハの表面を熱酸化して積層欠陥を誘起し、表面のダメージを評価する方法

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