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「Eビームリソグラフィー」を解説文に含む見出し語の検索結果(1～3/3件中)

電子線リソグラフィー - デジタル大辞泉

読み方：でんしせんりそぐらふぃー半導体集積回路などの製造方法の一つ。シリコンウエハー上に電子線レジストなどの感光材を塗布し、レチクル（フォトマスク）と呼ばれる回路原版を重ね、電子線を照射して転写する。

でんしせんりそぐらふぃー - デジタル大辞泉

読み方：でんしせんりそぐらふぃー半導体集積回路などの製造方法の一つ。シリコンウエハー上に電子線レジストなどの感光材を塗布し、レチクル（フォトマスク）と呼ばれる回路原版を重ね、電子線を照射して転写する。

デンシセンリソグラフィー - デジタル大辞泉

読み方：でんしせんりそぐらふぃー半導体集積回路などの製造方法の一つ。シリコンウエハー上に電子線レジストなどの感光材を塗布し、レチクル（フォトマスク）と呼ばれる回路原版を重ね、電子線を照射して転写する。

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