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「CAレジスト」を解説文に含む見出し語の検索結果(1～4/4件中)

化学増幅レジスト - デジタル大辞泉

読み方：かがくぞうふくれじすと半導体集積回路などの製造工程で使われるフォトレジストという感光材料のうち、光に反応して自ら酸を発生させ、薬品への溶けやすさを増幅するはたらきをもつもの。1980年代に実用...

かがくぞうふくれじすと - デジタル大辞泉

読み方：かがくぞうふくれじすと半導体集積回路などの製造工程で使われるフォトレジストという感光材料のうち、光に反応して自ら酸を発生させ、薬品への溶けやすさを増幅するはたらきをもつもの。1980年代に実用...

カガクゾウフクレジスト - デジタル大辞泉

読み方：かがくぞうふくれじすと半導体集積回路などの製造工程で使われるフォトレジストという感光材料のうち、光に反応して自ら酸を発生させ、薬品への溶けやすさを増幅するはたらきをもつもの。1980年代に実用...

化学増幅型レジスト - デジタル大辞泉

読み方：かがくぞうふくれじすと半導体集積回路などの製造工程で使われるフォトレジストという感光材料のうち、光に反応して自ら酸を発生させ、薬品への溶けやすさを増幅するはたらきをもつもの。1980年代に実用...

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