ArFエキシマレーザリソグラフィ用新規レジスト材料を解説文に含む用語の検索結果

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「ArFエキシマレーザリソグラフィ用新規レジスト材料」を解説文に含む見出し語の検索結果(1～3/3件中)

ArFエキシマレーザリソグラフィ用新規レジスト材料 - ウィキペディア小見出し辞書

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2018/02/28 09:42 UTC 版)「武智敏」の記事における「ArFエキシマレーザリソグラフィ用新規レジスト材料」の解説LS...

武智敏 - 百科事典

武智敏（たけちさとし）は日本の工学者、技術者。富士通セミコンダクター担当部長。LSI製造に使用されるArFエキシマレーザー光を用いた写真製版（リソグラフィ技術）用の実用的なレジスト（感光性樹脂）の...

山崎貞一賞 - 百科事典

山崎貞一賞（やまざきていいちしょう）は、毎年、一般財団法人材料科学技術振興財団（MST）によって、論文の発表、特許の取得、方法・技術の開発等を通じて、実用化につながる優れた創造的業績をあげている人...

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