「電磁界重畳レンズ」を解説文に含む見出し語の検索結果(1~8/8件中)
回転対称な磁界あるいは静電界を利用して、電子に対するレンズ作用を持たせたもの。一般のSEMでは磁界レンズが多く用いられているが、低加速電圧専用のSEMでは静電レンズが用いられる場合がある。また、減速法...
回転対称な磁界あるいは静電界を利用して、電子に対するレンズ作用を持たせたもの。一般のSEMでは磁界レンズが多く用いられているが、低加速電圧専用のSEMでは静電レンズが用いられる場合がある。また、減速法...
磁界レンズと静電レンズが同じ空間に作られたレンズ。減速法では対物レンズの磁界と減速電界が重畳された複合レンズとなっており、収差が小さく抑えられている。関連する用語磁界レンズ静電レンズ減速法対物レンズ収...
磁界レンズと静電レンズが同じ空間に作られたレンズ。減速法では対物レンズの磁界と減速電界が重畳された複合レンズとなっており、収差が小さく抑えられている。関連する用語磁界レンズ静電レンズ減速法対物レンズ収...
極低加速電圧を得るための減速法では、減速を行うための電極(あるいは試料ステージ)によって形成される静電界が、対物レンズの磁界に重畳された形となるため、電磁界重畳レンズとも呼ばれる。この方法では、収差が...
極低加速電圧を得るための減速法では、減速を行うための電極(あるいは試料ステージ)によって形成される静電界が、対物レンズの磁界に重畳された形となるため、電磁界重畳レンズとも呼ばれる。この方法では、収差が...
低加速電圧で高解像力を得る、あるいは、FESEMで数百V以下のSEM像を得る場合に使われる方法。比較的高加速電圧の電子線を対物レンズ付近で減速し、所定の入射電圧を得るものである。下図左のように対物レン...
低加速電圧で高解像力を得る、あるいは、FESEMで数百V以下のSEM像を得る場合に使われる方法。比較的高加速電圧の電子線を対物レンズ付近で減速し、所定の入射電圧を得るものである。下図左のように対物レン...
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