「マイクロマシン作製技術」を解説文に含む見出し語の検索結果(1~6/6件中)

出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2022/06/21 08:41 UTC 版)「マイクロマシン」の記事における「マイクロマシン作製技術」の解説英語ではmicromac...
バルクマイクロマシニングとは、MEMS(マイクロマシン)作製技術の一つ。 基板もしくは厚膜(数十μm以上)を加工してMEMSデバイスを作製する技術の総称。(参考:サーフェイスマイクロマシニング)主にS...
バルクマイクロマシニングとは、MEMS(マイクロマシン)作製技術の一つ。 基板もしくは厚膜(数十μm以上)を加工してMEMSデバイスを作製する技術の総称。(参考:サーフェイスマイクロマシニング)主にS...
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この記事は検証可能な参考文献や出典が全く示されていないか、不十分です。出典を追加して記事の信頼性向上にご協力ください。出典検索?: "マイクロマシン" – ニュース...
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