specimen chamber

走査電子顕微鏡基本用語集

試料室　specimen chamber

観察対象の試料を置くための空間。鏡筒、試料ステージ、試料交換室、検出器などが取り付けられている他、EDSなどの付属装置を取り付けるための予備ポートが設けられている。試料移動のために広い空間が必要であり、鏡筒を安定に支えるためにも、肉厚の壁で強固に作られている。