冷陰極電界放出電子銃とは？わかりやすく解説

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走査電子顕微鏡基本用語集

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冷陰極電界放出電子銃（CFE電子銃）　cold-field-emission electron gun,CFE electron gun

電界放出電子銃の別名。ショットキー電子銃あるいは熱電界放出電子銃のエミッタが加熱されているのに対して、通常の電界放出電子銃のエミッタは室温で動作することから、こう呼ばれることがある。

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