マグネトロンスパッタ装置とは？わかりやすく解説

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マグネトロンスパッタ装置　magnetron-sputter coater

イオンスパッタ装置の一種。ターゲット付近に磁石を置くことでペニング放電を起こさせるもので、低い電圧でも高いスパッタ速度を得ることができる。現在市販されている多くのイオンスパッタ装置が、このマグネトロンスパッタ方式を採用している。
マグネトロンスパッタ装置

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