EUVとは? わかりやすく解説

イー‐ユー‐ブイ【EUV】

読み方:いーゆーぶい

extreme ultraviolet》⇒極紫外線


極端紫外線リソグラフィ

(EUV から転送)

出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2024/07/19 07:17 UTC 版)

極端紫外線リソグラフィ (きょくたんしがいせんリソグラフィ、英語: Extreme ultraviolet lithography、略称:EUVリソグラフィ または EUVL) は、極端紫外線、波長13.5 nmにて露光する次世代露光技術である。




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