ＬＰＥ法とは？わかりやすく解説

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ＬＰＥ(液相エピタキシ)法

ＬＰＥ(液相エピタキシ)法結晶成長の方法として、溶液から固相結晶を基板の配向性を維持させながら晶出させる方法である。気相成長などに比べ成長速度が速く、また熱平衡に近い条件で結晶成長させるため厚膜化しても結晶性の低下が小さいなどの特徴を持つ。

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