プローブカード
出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2020/10/09 15:16 UTC 版)
プローブカード (probe card) とは、半導体集積回路（LSI）の製造工程における、半導体試験装置で使用される接続治具（探針）である。
- ^ 主に汎用メモリなどで、集積密度が上がり記憶容量(bit数)が倍々ゲームで増加するとこれに比例して検査時間も増加する。工場の単位時間あたりの生産数を減少させないためには（スループットを落とさないためには）、そしてウェーハ検査工程の装置も倍々ゲームで増加させ工場の床面積を際限無く増加させないためには、複数個のLSIチップを1台のテスト装置（テストセル）で同時にテストする必要が生じる。これが同時測定である。
- ^ プローブカードの主要メーカー：VLSI Research Inc. 2012年5月12日付けプレスリリース配布資料「PROBE CARD report」Santa Clara, CA US May 8 . 2012
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- 1 プローブカードとは
- 2 プローブカードの概要
- 3 材質
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