ダイシングソー
出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2022/10/09 13:52 UTC 版)
ダイシングソー（英語：dicing saw）は、切断機械の一種。ダイシングに使うカッターで、シリコンウェハーの切断を行う[1]。現在では直径200mmあるいは300mmのシリコンウェハーの切断が主流で、0.05mm四方の切断も可能である[2]。
- ^ 菊地正典 1998, p. 142.
- ^ “ウエハー切断幅5分の１に、微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）や無線識別（ＲＦＩＤ）などの小型チップの生産効率が高まる”. 日刊工業新聞社 (2018年1月18日). 2022年10月9日閲覧。
[続きの解説]
「ダイシングソー」の続きの解説一覧
- 1 ダイシングソーとは
- 2 ダイシングソーの概要
- 3 脚注
ダイシングソー
出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2022/06/17 00:09 UTC 版)
「ディスコ (切断装置製造)」の記事における「ダイシングソー」の解説
半導体に使用されるシリコンウェーハなどのチップ分割を行う切断装置。
※この「ダイシングソー」の解説は、「ディスコ (切断装置製造)」の解説の一部です。
「ダイシングソー」を含む「ディスコ (切断装置製造)」の記事については、「ディスコ (切断装置製造)」の概要を参照ください。
ウィキペディア小見出し辞書の「ダイシングソー」の項目はプログラムで機械的に意味や本文を生成しているため、不適切な項目が含まれていることもあります。ご了承くださいませ。 お問い合わせ。
- ダイシングソーのページへのリンク
