シート抵抗
出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2015/12/25 03:09 UTC 版)
シート抵抗 (英語: sheet resistance, sheet resistivity) とは、一様の厚さを持つ薄い膜やフィルム状物質の電気抵抗を表す量のひとつ。表面抵抗率、面抵抗率とも呼ばれる[1][2]。
- ^ 『抵抗率の測定方法 表面抵抗率と体積抵抗率』 三菱化学アナリティック、2008年。
- ^ a b 『シリコン半導体デバイスの高集積化を可能にするイオン注入技術』 独立行政法人産業技術総合研究所、2007年3月5日。
- ^ Van Zeghbroeck, Bart J. (1997), “2.9 Mobility - Resistivity - Sheet Resistance”, Priciples of Semiconductor Devices, University of Colorado
[続きの解説]
「シート抵抗」の続きの解説一覧
- 1 シート抵抗とは
- 2 シート抵抗の概要
シート抵抗と同じ種類の言葉
- シート抵抗のページへのリンク
