「エッチング_(微細加工)」を解説文に含む見出し語の検索結果(21～30/93件中)
出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2021/10/19 08:54 UTC 版)「日立ハイテク」の記事における「主な事業内容」の解説「電子線技術」を集約・強化して、半導...
出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2022/02/20 07:40 UTC 版)「誘導結合プラズマ」の記事における「加工技術としての応用」の解説MEMSや集積回路の製造...
出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2021/10/03 05:12 UTC 版)「湯之上隆」の記事における「人物・来歴・エピソード」の解説1985年、京大工学部原子核工...
ナビゲーションに移動検索に移動この記事は検証可能な参考文献や出典が全く示されていないか、不十分です。出典を追加して記事の信頼性向上にご協力ください。（2013年12月）ウエットエッチング（英語：wet...
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集束イオンビーム(FIB,Focused Ion Beam)は、イオンを電界で加速したビームを細く絞ったものである。 集束イオンビームは、微細加工、蒸着、観察などの用途に用いられる。目次1 微細加工2...
集束イオンビーム(FIB,Focused Ion Beam)は、イオンを電界で加速したビームを細く絞ったものである。 集束イオンビームは、微細加工、蒸着、観察などの用途に用いられる。目次1 微細加工2...
フランス、トゥールーズのLAAS技術施設において、4インチのウェハーバッチにピラニア、フッ化水素酸、RCA洗浄を行うために使われたエッチングタンク微細加工におけるエッチング（英語: etchi...
フランス、トゥールーズのLAAS技術施設において、4インチのウェハーバッチにピラニア、フッ化水素酸、RCA洗浄を行うために使われたエッチングタンク微細加工におけるエッチング（英語: etchi...
反応性イオンエッチング (はんのうせいイオンエッチング、Reactive Ion Etching; RIE) はドライエッチングに分類される微細加工技術の一つである。原理としては、反応室内でエッチング...