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「その他の注意事項」を解説文に含む見出し語の検索結果(11～12/14件中)

熱酸化 - 百科事典

拡散および熱酸化に使用される炉（LAAS社製、フランストゥールーズにある同社の技術施設で撮影）熱酸化（ねつさんか、Thermal_oxidation）は、微細加工において、ウェーハの表面に酸化物（通...

Thermal oxidation - 百科事典

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