「静電界磁界複合レンズ」を解説文に含む見出し語の検索結果(1~4/4件中)

極低加速電圧を得るための減速法では、減速を行うための電極(あるいは試料ステージ)によって形成される静電界が、対物レンズの磁界に重畳された形となるため、電磁界重畳レンズとも呼ばれる。この方法では、収差が...
極低加速電圧を得るための減速法では、減速を行うための電極(あるいは試料ステージ)によって形成される静電界が、対物レンズの磁界に重畳された形となるため、電磁界重畳レンズとも呼ばれる。この方法では、収差が...
低加速電圧で高解像力を得る、あるいは、FESEMで数百V以下のSEM像を得る場合に使われる方法。比較的高加速電圧の電子線を対物レンズ付近で減速し、所定の入射電圧を得るものである。下図左のように対物レン...
低加速電圧で高解像力を得る、あるいは、FESEMで数百V以下のSEM像を得る場合に使われる方法。比較的高加速電圧の電子線を対物レンズ付近で減速し、所定の入射電圧を得るものである。下図左のように対物レン...
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