集束イオンビーム装置を解説文に含む用語の検索結果

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「集束イオンビーム装置」を解説文に含む見出し語の検索結果(1～10/19件中)

エミッタ - 走査電子顕微鏡用語

電子の放出源すなわち陰極。一般に、電界放出電子銃あるいはショットキー電子銃の陰極に対して使われることが多い。なお、集束イオンビーム装置の場合は、イオンの放出源がエミッタであり、陽極となる。関連する用語...

emitter - 走査電子顕微鏡用語

電子の放出源すなわち陰極。一般に、電界放出電子銃あるいはショットキー電子銃の陰極に対して使われることが多い。なお、集束イオンビーム装置の場合は、イオンの放出源がエミッタであり、陽極となる。関連する用語...

液体金属イオン源 - 走査電子顕微鏡用語

集束イオンビーム装置のイオン源。液体金属のガリウムをタングステンの針先にコーティングしたエミッタを陽極として、引出電極にマイナスの高電圧を掛け、ガリウムイオンビームを放出させる。寿命は1000時間程度...

liquid-metal ion source - 走査電子顕微鏡用語

集束イオンビーム装置のイオン源。液体金属のガリウムをタングステンの針先にコーティングしたエミッタを陽極として、引出電極にマイナスの高電圧を掛け、ガリウムイオンビームを放出させる。寿命は1000時間程度...

LMIS - 走査電子顕微鏡用語

集束イオンビーム装置のイオン源。液体金属のガリウムをタングステンの針先にコーティングしたエミッタを陽極として、引出電極にマイナスの高電圧を掛け、ガリウムイオンビームを放出させる。寿命は1000時間程度...

集束イオンビーム - 走査電子顕微鏡用語

数keV〜30keVのエネルギーを持った細いガリウムイオンビーム。SEM用の断面試料作製あるいはTEM、STEM用の薄膜試料作製に多用される。なお、FIBと言った場合、集束イオンビーム装置そのものを意...

FIB - 走査電子顕微鏡用語

数keV〜30keVのエネルギーを持った細いガリウムイオンビーム。SEM用の断面試料作製あるいはTEM、STEM用の薄膜試料作製に多用される。なお、FIBと言った場合、集束イオンビーム装置そのものを意...

focused ion beam - 走査電子顕微鏡用語

数keV〜30keVのエネルギーを持った細いガリウムイオンビーム。SEM用の断面試料作製あるいはTEM、STEM用の薄膜試料作製に多用される。なお、FIBと言った場合、集束イオンビーム装置そのものを意...

デュアルビームFIB - 走査電子顕微鏡用語

SEMの電子光学系とFIBのイオン光学系を一つの試料室に配し、FIB加工した断面をそのままSEMで観察できるようにしたシステム。通常SEMとFIBの光学系はお互いに60゜傾いている。関連する用語電子光...

dual-beam FIB - 走査電子顕微鏡用語

SEMの電子光学系とFIBのイオン光学系を一つの試料室に配し、FIB加工した断面をそのままSEMで観察できるようにしたシステム。通常SEMとFIBの光学系はお互いに60゜傾いている。関連する用語電子光...

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