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「標準マイクロスケール」を解説文に含む見出し語の検索結果(1～6/6件中)

測長SEM - 走査電子顕微鏡用語

SEMの持つ、観察、分析、測長などの機能の内、測長機能に特化して作り上げられた装置。とくに半導体の製造ラインでプロセスの寸法管理に用いられ、数百nm幅のパターン幅の自動測定を行う。非導電性試料を扱うこ...

CD-SEM - 走査電子顕微鏡用語

SEMの持つ、観察、分析、測長などの機能の内、測長機能に特化して作り上げられた装置。とくに半導体の製造ラインでプロセスの寸法管理に用いられ、数百nm幅のパターン幅の自動測定を行う。非導電性試料を扱うこ...

critical dimension SEM - 走査電子顕微鏡用語

SEMの持つ、観察、分析、測長などの機能の内、測長機能に特化して作り上げられた装置。とくに半導体の製造ラインでプロセスの寸法管理に用いられ、数百nm幅のパターン幅の自動測定を行う。非導電性試料を扱うこ...

倍率標準試料 - 走査電子顕微鏡用語

一定の大きさあるいはピッチを持った、倍率の基準となる試料。SEMは加速電圧範囲が広く、作動距離も目的に応じて変える必要がある。このため、倍率誤差が大きくなりがちである。倍率精度を上げるためには大きさの...

magnification-calibration specimen - 走査電子顕微鏡用語

一定の大きさあるいはピッチを持った、倍率の基準となる試料。SEMは加速電圧範囲が広く、作動距離も目的に応じて変える必要がある。このため、倍率誤差が大きくなりがちである。倍率精度を上げるためには大きさの...

magnification-standard specimen - 走査電子顕微鏡用語

一定の大きさあるいはピッチを持った、倍率の基準となる試料。SEMは加速電圧範囲が広く、作動距離も目的に応じて変える必要がある。このため、倍率誤差が大きくなりがちである。倍率精度を上げるためには大きさの...

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