ケム・メカニカルポリシングを解説文に含む用語の検索結果

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「ケム・メカニカルポリシング」を解説文に含む見出し語の検索結果(1～4/4件中)

CMP - 研磨用語

しー・えむ・ぴー化学的機械研磨技術 Chemical Mechnical Polishing （またはPlanarization) の略称。LSIデバイスの高速動作を狙って、デバイス製作後のウエハ面の...

しー・えむ・ぴー - 研磨用語

しー・えむ・ぴー化学的機械研磨技術 Chemical Mechnical Polishing （またはPlanarization) の略称。LSIデバイスの高速動作を狙って、デバイス製作後のウエハ面の...

湿式メカノケミカルポリシング - 研磨用語

しっしきめかのけみかるぽりしんぐSEMI規格用語のケム・メカニカルポリシングに該当する。シリコンウエハの鏡面仕上げで注目された研磨法であり、コロイダルシリカ研磨剤と軟質発泡ポリウレタンが用いられる。工...

しっしきめかのけみかるぽりしんぐ - 研磨用語

しっしきめかのけみかるぽりしんぐSEMI規格用語のケム・メカニカルポリシングに該当する。シリコンウエハの鏡面仕上げで注目された研磨法であり、コロイダルシリカ研磨剤と軟質発泡ポリウレタンが用いられる。工...

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