「イオンスパッタ装置」を解説文に含む見出し語の検索結果(1～10/24件中)
イオンスパッタ装置あるいはイオンビームスパッタ装置を使って、試料表面に金属コーティングを行うときの金属材料。イオンスパッタ装置では白金、白金パラジウム、金パラジウム、金など、イオンビームスパッタ装置で...
イオンスパッタ装置あるいはイオンビームスパッタ装置を使って、試料表面に金属コーティングを行うときの金属材料。イオンスパッタ装置では白金、白金パラジウム、金パラジウム、金など、イオンビームスパッタ装置で...
イオンスパッタ装置の一種。ターゲット付近に磁石を置くことでペニング放電を起こさせるもので、低い電圧でも高いスパッタ速度を得ることができる。現在市販されている多くのイオンスパッタ装置が、このマグネトロン...
イオンスパッタ装置の一種。ターゲット付近に磁石を置くことでペニング放電を起こさせるもので、低い電圧でも高いスパッタ速度を得ることができる。現在市販されている多くのイオンスパッタ装置が、このマグネトロン...
スライドグラス、カーボン板、カーボン支持膜などの疎水性基板の表面を水に濡れやすくする処理。実際には、イオンスパッタ装置のターゲットを外した状態で放電させ、放電領域のそばに基板を置くことで親水性にするこ...
スライドグラス、カーボン板、カーボン支持膜などの疎水性基板の表面を水に濡れやすくする処理。実際には、イオンスパッタ装置のターゲットを外した状態で放電させ、放電領域のそばに基板を置くことで親水性にするこ...
真空蒸着装置あるいはイオンスパッタ装置に組み込んで使う、試料の回転・傾斜機構。高真空でコーティングする場合や、入り組んだ構造を持った試料にコーティングする場合、なるべく均一な厚さで連続した膜を作るため...
真空蒸着装置あるいはイオンスパッタ装置に組み込んで使う、試料の回転・傾斜機構。高真空でコーティングする場合や、入り組んだ構造を持った試料にコーティングする場合、なるべく均一な厚さで連続した膜を作るため...
オスミウム雰囲気中でのグロー放電を利用して、四酸化オスミウム蒸気を分解し、金属オスミウムの薄い被膜を試料にコーティングする装置。凹凸が比較的激しい試料でも一様な膜厚のコーティングができる、膜の粒状性が...
オスミウム雰囲気中でのグロー放電を利用して、四酸化オスミウム蒸気を分解し、金属オスミウムの薄い被膜を試料にコーティングする装置。凹凸が比較的激しい試料でも一様な膜厚のコーティングができる、膜の粒状性が...
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