「アクティブ除振装置」を解説文に含む見出し語の検索結果(1~2/2件中)
SEMは床からの振動を防ぐために、金属バネあるいは空気バネの様な除振装置を使っているが、床振動の周波数によってはこれらのバネの共振周波数と一致して、かえって増幅されてしまい、大きな像揺れを引き起こす。
SEMは床からの振動を防ぐために、金属バネあるいは空気バネの様な除振装置を使っているが、床振動の周波数によってはこれらのバネの共振周波数と一致して、かえって増幅されてしまい、大きな像揺れを引き起こす。
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