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「おー・えす・えふ」を解説文に含む見出し語の検索結果(1～2/2件中)

OSF - 研磨用語

おー・えす・えふ①シリコンウェハの表面や内部に生じる結晶欠陥の１つで、酸化により誘起される積層欠陥。ウェハ表面のOSFは表面近傍の残留歪みや汚染なと、内部のOSFは過飽和含有酸素の析出物に起因する。 ...

おー・えす・えふ - 研磨用語

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