長さの単位。記号はÅで表し、1Å=0.1nmである。SI単位系ではないため、使用頻度は極めて少なくなっている。

長さの単位。記号はÅで表し、1Å=0.1nmである。SI単位系ではないため、使用頻度は極めて少なくなっている。

倍率基準として作られた標準試料の商品名。シリコン上に作った格子状のパターンで240nm±1nmのピッチを持つ。関連する用語倍率標準試料標準試料...

倍率基準として作られた標準試料の商品名。シリコン上に作った格子状のパターンで240nm±1nmのピッチを持つ。関連する用語倍率標準試料標準試料...

【英】：focal step対物レンズの電流を可変するつまみを動かしたときの、焦点距離の変化量。最近の顕微鏡では焦点距離の最小可変量は〜1nmである。

【英】：focal step対物レンズの電流を可変するつまみを動かしたときの、焦点距離の変化量。最近の顕微鏡では焦点距離の最小可変量は〜1nmである。

【英】：specimen driftゴニオメータ、試料ホルダなどの熱的、機械的安定度に起因する試料移動（量）。高分解能観察や微小領域の分析に重要な因子である。〜1nm/minに抑えられている。

【英】：specimen driftゴニオメータ、試料ホルダなどの熱的、機械的安定度に起因する試料移動（量）。高分解能観察や微小領域の分析に重要な因子である。〜1nm/minに抑えられている。

【英】：probe diameter試料に入射する電子ビームの直径のこと。最小プローブサイズは電界放出型電子銃で〜0.2nm、LaB6熱電子放出型電子銃で〜1nm。球面収差補正装置を用いるとビーム径は...

【英】：probe diameter試料に入射する電子ビームの直径のこと。最小プローブサイズは電界放出型電子銃で〜0.2nm、LaB6熱電子放出型電子銃で〜1nm。球面収差補正装置を用いるとビーム径は...