「反射電子」を解説文に含む見出し語の検索結果(11～20/193件中)
反射電子検出器の一種。先端に開口部を持つテーパー状のシンチレータで出来ており、試料から放出された反射電子がシンチレータを発光させ、ライトガイドを通って光電子倍増管に導かれる構造となっている。半導体検出...
出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2021/11/20 08:32 UTC 版)「電子線描画装置」の記事における「反射電子検出器」の解説描画位置検出やマーク付きウェハー...
反射電子が試料から放出されるとき、表面付近で励起した二次電子。加速電圧が高い場合、反射電子は拡がりを持つので、発生領域は電子プローブ径に比べるとかなり大きくなると同時に試料内部の情報を持つ。SE2の放...
光軸に関して対称に置いた二つの検出器で反射電子を検出する場合、検出器の出力の和を信号としてSEM像を作ると、凹凸情報を打ち消して組成情報のみを得ることができる。これを組成像または反射電子組成像と言う。
光軸に関して対称に置いた二つの検出器で反射電子を検出する場合、検出器の出力の和を信号としてSEM像を作ると、凹凸情報を打ち消して組成情報のみを得ることができる。これを組成像または反射電子組成像と言う。
光軸に関して対称に置いた二つの検出器で反射電子を検出する場合、検出器の出力の和を信号としてSEM像を作ると、凹凸情報を打ち消して組成情報のみを得ることができる。これを組成像または反射電子組成像と言う。
導電性の試料に入射した電子が、吸収電子としてアースに流れたもの。これを信号として可視化したSEM像を吸収電流像（absorbed electron current image）と言い、反射電子組成像と...
導電性の試料に入射した電子が、吸収電子としてアースに流れたもの。これを信号として可視化したSEM像を吸収電流像（absorbed electron current image）と言い、反射電子組成像と...
導電性の試料に入射した電子が、吸収電子としてアースに流れたもの。これを信号として可視化したSEM像を吸収電流像（absorbed electron current image）と言い、反射電子組成像と...
導電性の試料に入射した電子が、吸収電子としてアースに流れたもの。これを信号として可視化したSEM像を吸収電流像（absorbed electron current image）と言い、反射電子組成像と...