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Sachbegriffe
Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/gnd/4182614-0
Sachbegriff Sputtern
Quelle - Kompakt B, Nachtrag,B 1986 als Kathodenzerstäubung
Erläuterungen Verwendungshinweis: Verknüpfe mit Anwendungsgebiet, z.B. Trockenätzen oder PVD-Verfahren
Synonyme Festkörperzerstäubung
Ionenzerstäubung
Ionstrahlsputtern
Kathodenzerstäubung
Sputtering
Ionenstrahlsputtern
Sputterdeposition
Sputterverfahren
Oberbegriffe Zerstäubung
PVD-Verfahren
DDC-Notation 530.416
667.9
Systematik 31.8a Fertigungstechnik ; 31.9b Elektronik, Nachrichtentechnik
Typ Allgemeinbegriff (saz)
Andere Normdaten LCSH: Sputtering (Physics)
RAMEAU: Pulvérisation cathodique
Untergeordnet 5 Datensätze
  1. DC-Sputtern
    Sputtern
  2. Gasflusssputtern
    Sputtern
  3. ...
Thema in 180 Publikationen
  1. Energy-induced nanoparticle-substrate interactions
    Choupanian, Shiva. - Jena : Friedrich-Schiller-Universität Jena, 2023
  2. Mehrkomponenten-Targets zum Sputtern von AlCr (W, Ta, Si) N-Systemen
    Fehr, Alexander. - Essen : Vulkan Verlag, [2023]
  3. ...
Maschinell verknüpft mit 36 Publikationen
  1. Roll-to-roll sputtering of thermochromic VO2-based coatings onto ultra-thin flexible glass
    Szelwicka, Jolanta. - Dresden : Technische Universität Dresden, 2024
  2. Electrical and thermal diagnostics for a better understanding of the energy balance of species in technological plasmas
    Schlichting, Felix. - Kiel : Universitätsbibliothek Kiel, 2023
  3. ...





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